新華網深圳10月17日電（記者李曉玲）正在此間舉辦的2025灣區半導體產業生態博覽會（灣芯展）上，國家專精特新重點“小巨人”企業深圳市恒運昌真空技術股份有限公司憑借其在半導體設備核心零部件領域的全面技術突破與卓越性能表現，榮獲第六屆“IC創新獎”技術創新獎，恒運昌帶來的射頻電源及相關核心技術也成為展會焦點之一。

 　半導體制造中，等離子體射頻電源系統長期被國外巨頭壟斷。這個細分領域技術壁壘高，涉及多學科交叉，研發周期長，且對產品一致性和穩定性要求嚴苛。

 　經過十余年的持續研發、創新和積累，國內射頻電源行業龍頭企業恒運昌通過核心技術攻關，構建了涵蓋信號采樣及處理、相位鎖定、同步控制、快速調頻、脈沖控制等等離子體射頻電源系統運行中的關鍵技術體系，形成了三大基石技術和八大產品化支撐技術，實現了核心技術的完全自主可控。

 　恒運昌公司董事長樂衛平在展會現場介紹說，此次展出的射頻電源、匹配器與阻抗調整器的系列產品全部為自主研發，其輸出精度及穩定性已達到國際先進水平。公司在國內率先研制出全數字化、高精度、高穩定性等離子體射頻電源系統，為半導體設備核心零部件國產化之路鋪設基石。據了解，恒運昌展出的Aspen系列產品可支持7－14納米半導體制程，目前已量產。

 　恒運昌是國內領先的集成電路裝備核心零部件整體解決方案商。截至2025年6月30日，恒運昌已累計獲得261項授權專利，其中發明專利108項，承擔工信部、科技部三項國家級課題。公司參與制定的多項行業標準，正在推動整個產業鏈的技術進步。  　

 　相關數據顯示，今年上半年，中國半導體設備進口額同比下降28%，國產半導體設備市場份額突破40%，國產替代進程正在加速。樂衛平表示，恒運昌將抓住半導體產業鏈國產化的歷史機遇，持續開展核心技術攻關，豐富產品種類，提高技術先進性，助力國內半導體設備關鍵零部件的全面自主可控。